與單一的刻蝕設(shè)備不同，刻蝕系統(tǒng)是一套集工藝執(zhí)行、參數(shù)控制、環(huán)境保障于一體的集成化解決方案，其核心原理并非單一環(huán)節(jié)的運(yùn)作，而是通過(guò)多模塊協(xié)同聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)從“工件上料”到“刻蝕完成”的全流程自動(dòng)化、高精度控制，廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路量產(chǎn)、MEMS器件制造等對(duì)穩(wěn)定性和一致性要求高的場(chǎng)景。

　　從系統(tǒng)原理的核心架構(gòu)來(lái)看，刻蝕系統(tǒng)主要由“真空系統(tǒng)、工藝氣體供給系統(tǒng)、射頻功率系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、自動(dòng)化傳輸系統(tǒng)、測(cè)控與控制系統(tǒng)”六大模塊組成，各模塊既各司其職，又通過(guò)中央控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)聯(lián)動(dòng)，共同保障刻蝕過(guò)程的穩(wěn)定與精準(zhǔn)。

　　首先是真空系統(tǒng)與工藝氣體供給系統(tǒng)的協(xié)同原理。刻蝕系統(tǒng)的反應(yīng)腔體需維持10?³~10??Pa的高真空環(huán)境，這一環(huán)境由分子泵、機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)——真空環(huán)境不僅能避免空氣中的雜質(zhì)與工藝氣體反應(yīng)，還能保證氣體分子的自由程，確保等離子體均勻生成。同時(shí)，工藝氣體供給系統(tǒng)通過(guò)高精度質(zhì)量流量控制器，按預(yù)設(shè)比例向腔體輸送多種工藝氣體，例如在深硅刻蝕中，通過(guò)交替通入SF?與C?F?，實(shí)現(xiàn)“刻蝕-鈍化”循環(huán)，形成高深寬比結(jié)構(gòu)；兩大模塊的協(xié)同，為刻蝕提供了純凈、可控的基礎(chǔ)環(huán)境。
 

　　其次是射頻功率系統(tǒng)與溫控系統(tǒng)的聯(lián)動(dòng)原理。射頻功率系統(tǒng)是等離子體生成的核心，通過(guò)向腔體施加高頻電場(chǎng)，激發(fā)工藝氣體電離；系統(tǒng)可實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)功率大小，控制等離子體的密度與活性——功率過(guò)高會(huì)導(dǎo)致材料刻蝕損傷，功率過(guò)低則刻蝕速率不足，因此系統(tǒng)需根據(jù)工藝需求動(dòng)態(tài)適配。同時(shí)，溫控系統(tǒng)通過(guò)水冷或加熱模塊，將待刻蝕工件的溫度控制在±1℃的范圍內(nèi)：溫度過(guò)高會(huì)導(dǎo)致光刻膠軟化變形，溫度過(guò)低則會(huì)降低化學(xué)反應(yīng)速率，二者的聯(lián)動(dòng)可確保刻蝕速率與圖形精度的穩(wěn)定性，例如在金屬刻蝕中，通過(guò)低溫控制，可減少橫向腐蝕，提升圖形保真度。

　　最后是自動(dòng)化傳輸系統(tǒng)與測(cè)控控制系統(tǒng)的整合原理。在量產(chǎn)場(chǎng)景中，自動(dòng)化傳輸系統(tǒng)通過(guò)機(jī)械臂實(shí)現(xiàn)工件在“上料臺(tái)-預(yù)處理腔-刻蝕腔-下料臺(tái)”之間的無(wú)人化傳輸，避免人工操作帶來(lái)的污染與誤差；而測(cè)控控制系統(tǒng)作為“系統(tǒng)大腦”，實(shí)時(shí)采集各模塊的參數(shù)，通過(guò)閉環(huán)控制算法調(diào)整設(shè)備狀態(tài)，同時(shí)記錄每一步工藝數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)“可追溯、可復(fù)現(xiàn)”——例如在集成電路量產(chǎn)中，系統(tǒng)可通過(guò)分析歷史數(shù)據(jù)，自動(dòng)補(bǔ)償工藝漂移，確保每片晶圓的刻蝕效果一致。

　　我們的刻蝕系統(tǒng)通過(guò)對(duì)各模塊原理的深度優(yōu)化與集成，實(shí)現(xiàn)了“高效、穩(wěn)定、智能”的刻蝕流程，可根據(jù)不同行業(yè)的工藝需求定制模塊組合，為客戶提供從研發(fā)到量產(chǎn)的全場(chǎng)景解決方案，助力產(chǎn)業(yè)升級(jí)。